يوجد نوعان من صمام تخفيف الضغط تقريبًا: أحدهما صمام على شكل مفتاح يعزل الغلاف الجوي والفراغ بعد الإغلاق ، والآخر هو صمام عالمي يعدل حجم التهوية. يستخدم الأخير في معدات مثل مقدمة الغاز.
بشكل عام ، يشير صمام تخفيف الضغط إلى صمام خط الغاز. تتمثل الوظيفة الأساسية للصمام في عزل الغلاف الجوي والمساحة الفراغية عند الإغلاق.
(1) الهيكل الأساسي لصمام تخفيف الضغط.
(1) جزء ختم الصمام.
(2) محرك رمح.
(3) تغطية جزء الختم.
وفقًا للهياكل المختلفة للأجزاء الثلاثة ، يتم استخدامها في حقول فراغ مختلفة.
(2) شكل الصمام
هناك عمومًا أربعة أشكال من الصمامات ، وهي صمامات الزاوية ، وصمامات الفراشة ، والصمامات المستقيمة وصمامات البوابة. تم اختيار صمامات مختلفة وفقًا لحقل التطبيق الفراغي
(3) محرك الصمام
هناك نوعان من محركات الصمامات: يدوي وتلقائي. يتم تشغيل الصمامات الأوتوماتيكية بشكل أساسي عن طريق الهواء المضغوط ، وبعض الصمامات الصغيرة مدفوعة بواسطة المغناطيسات الكهرومغنسية.
2. صمام عالمي
يستخدم الصمام العالمي بشكل أساسي للتحكم في كمية الغاز التي تم إدخالها في حاوية الفراغ والتحكم في سرعة العادم الفعالة.
(1) صمام مقدمة الغاز
يتحكم الصمام في معدل تدفق الغاز عن طريق التحكم في توصيل الغاز لسطح التلامس بين النحاس الخالي من الأكسجين والكربيد الأسمنت ، مع موثوقية عالية. الصمام العالمي مصنوع من المعدن ويمكن استخدامه لخبز أو قطع مقدمة الغاز.
(2) تدفق الصمام العالمي
يتم تثبيت هذا النوع من الصمام بين غرفة الفراغ ومضخة العادم ، ويضبط سرعة العادم عن طريق ضبط معدل توصيل الغاز. الصورة 1 هي صمام فراشة يعدل توصيل الغاز من خلال التغييرات في زاوية المكبس.
